偌大的車間正緊鑼密鼓地進行生產，卻鮮有工人在機器之間穿梭。在智能生產線上，機器人代替傳統人力，在流水線上執行工作任務，精準完成定位、抓取、裝配、焊接等步驟。為機器人賦予光明視野的，是藏身于機械臂上的一塊小巧的MEMS微鏡芯片。它僅如米粒大小的身軀，可驅動格柵結構光投射在零部件上，為機器人提供清晰圖像。

日前，由北京理工大學集成電路與電子學院“光芯繪影”團隊開發的MEMS微鏡芯片問世。團隊負責人、北京理工大學碩士生張瑞浩表示，團隊研發了微型化、高精度的MEMS微鏡芯片，面積相當于世界先進水平芯片的1/80，檢測精度提升一倍。該芯片不僅適用于制造業，還適用于物流、刑偵、醫療等領域。

團隊在前期調研中考察了DMD芯片和MEMS微鏡芯片兩大技術。前者體積太大，且始終被海外少數技術寡頭壟斷，存在技術壁壘;后者雖然體積小，但現有產品存在溫度漂移大、無角度檢測的缺陷。

“光芯繪影”團隊創新實現了低溫漂芯片和高精度檢測兩大核心技術。低溫漂方面，由于復雜環境下微鏡工作穩定性差，團隊成員曹英超提出了新型微鏡梳齒結構，顯著減少了諧振角度漂移，提升了溫度穩定性;角度檢測方面，張瑞浩與團隊成員屈家生開發了電容式角度檢測技術，光學設計較傳統方案極大簡化，可以在小體積前提下實現高精度檢測微鏡的偏轉角度。

“我們在精度等指標上已經做到了投影芯片的國產平替，而且在溫漂和體積上較友商更具優勢，更能應對復雜環境下的投影需求。”張瑞浩說。

據了解，項目以低溫漂高精度的MEMS微鏡芯片為核心產品，以芯片設計和封測為主要業務，以虛擬現實、增強現實、3D相機、激光投影等應用場景為下游市場。從技術到產品的轉化過程中，團隊逐步優化結構設計以提高芯片穩定性，并設計推出了面向不同場景的系列化的多款產品。

“目前，芯片產品已具備量產能力，工藝良率高于90%。我們已擁有2家長期合作的芯片代工廠和多家企業客戶，MEMS微鏡芯片出貨近萬顆;核心技術發表SCI論文一篇，申請多項發明專利。”張瑞浩說。

(溫才妃)

關鍵詞： 低溫漂芯片 微鏡芯片 高精度檢測 芯片產品已具備量產能力